株式会社国际电气冈岛优作获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利基板处理装置、基板支承件、半导体装置的制造方法及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980099061.9，技术领域涉及：H10P72/70；该发明授权基板处理装置、基板支承件、半导体装置的制造方法及记录介质是由冈岛优作设计研发完成，并于2019-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板支承件、半导体装置的制造方法及记录介质在说明书摘要公布了：本发明具备：处理室，其进行针对基板的处理；基板支承件，其在处理室内支承基板，在基板支承件上沿着基板配设有板状部件，所述板状部件在中央部与位于比中央部靠外侧处的外周部厚度不同。
本发明授权基板处理装置、基板支承件、半导体装置的制造方法及记录介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具有： 处理室，其进行针对基板的处理； 基板支承件，其在所述处理室内支承所述基板， 在所述基板支承件上沿着所述基板配置有板状部件，所述板状部件在中央部与位于比所述中央部靠外侧处的外周部厚度不同，且所述中央部与所述外周部由互不相同的材料形成， 所述板状部件的所述外周部的厚度比所述中央部的厚度厚， 所述中央部由比所述外周部更容易吸收热的材料形成。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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