株式会社斯库林集团稻木大获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利处理条件确定方法、基板处理方法、基板制品制造方法、计算机程序、存储介质、处理条件确定装置及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080084200.3，技术领域涉及：H10P50/60；该发明授权处理条件确定方法、基板处理方法、基板制品制造方法、计算机程序、存储介质、处理条件确定装置及基板处理装置是由稻木大;岛野达矢;太田乔设计研发完成，并于2020-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理条件确定方法、基板处理方法、基板制品制造方法、计算机程序、存储介质、处理条件确定装置及基板处理装置在说明书摘要公布了：在本发明的处理条件确定方法中，从多个处理程式信息中确定出一边移动处理液的喷出位置一边处理基板W时能够使用的处理程式信息。处理条件确定方法包括工序S31、工序S32以及工序S33。在工序S31中，基于包括基板W的厚度的测定值的测定厚度信息，针对多个处理程式信息中的每一个处理程式信息，计算出包括基板W的处理后的厚度的预测值的预测厚度信息。在工序S32中，按照规定评价方法来评价针对多个处理程式信息而分别计算出的多个预测厚度信息，并从多个预测厚度信息中选择预测厚度信息。在工序S33中，确定出与所选择的预测厚度信息对应的处理程式信息。测定厚度信息中包括的测定值表示在基板W的处理前测定的基板W的厚度。
本发明授权处理条件确定方法、基板处理方法、基板制品制造方法、计算机程序、存储介质、处理条件确定装置及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种处理条件确定方法，从多个处理条件中确定出一边沿着作为处理对象的基板的对象基板的径向移动处理液的喷出位置一边处理所述对象基板时能够使用的处理条件，其中，包括以下工序： 基于包括所述对象基板的径向上的多个位置处的厚度的测定值的测定厚度信息，针对所述多个处理条件中的每一个处理条件，计算出包括所述对象基板的所述多个位置处的处理后的厚度的预测值的预测厚度信息， 按照规定评价方法来评价针对所述多个处理条件而分别计算出的多个预测厚度信息，并从所述多个预测厚度信息中选择预测厚度信息，所述规定评价方法是评价由所述预测厚度信息表示的预测厚度图案与平坦的接近程度的方法，以及 确定出与所述选择的预测厚度信息对应的所述处理条件； 所述测定厚度信息中所包括的所述测定值，表示在利用所述处理液对所述对象基板进行处理之前沿着所述对象基板的径向而测定的所述对象基板的厚度。
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