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龙图腾网获悉北京万集科技股份有限公司申请的专利MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114839621B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210311541.0，技术领域涉及：G01S7/497；该发明授权MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达是由吴田爽;时也设计研发完成，并于2022-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达在说明书摘要公布了：本申请适用于雷达技术领域，提供了MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达。MEMS振镜状态检测方法包括：获取MEMS振镜振动时的声音信号，确定声音信号在时域内的幅值；若幅值在设定范围内，则根据声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集声音信号时的第一温度，确定MEMS振镜的工作状态，工作状态包括正常工作或异常，从而可以在MEMS激光雷达工作过程中对MEMS振镜的状态进行检测，避免MEMS激光雷达在MEMS振镜出现异常时进行数据采集和目标检测，提高了MEMS激光雷达的检测准确度以及可靠性。

本发明授权MEMS振镜状态检测方法及MEMS激光雷达在权利要求书中公布了：1.一种MEMS振镜状态检测方法，其特征在于，包括： 获取MEMS振镜振动时的声音信号； 确定所述声音信号在时域内的幅值； 若所述幅值在设定范围内，则根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，所述工作状态包括正常工作或异常； 所述根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，包括： 若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，或，若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为正常工作，所述第二预设值大于所述第一预设值； 所述异常包括需要维护或损坏，所述根据所述声音信号的频率与参考声音信号的参考频率的关系，以及采集所述声音信号时所述MEMS振镜所属的MEMS激光雷达内的第一温度，确定所述MEMS振镜的工作状态，包括： 若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为需要维护； 若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第二预设值的信号，判断所述声音信号中是否存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，所述第三预设值大于所述第二预设值； 若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为需要维护； 若所述声音信号中存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，且根据所述第一温度对所述声音信号的频率进行校准后，校准后的声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第一预设值的信号，或，若所述声音信号中不存在频率与所述参考频率的差值小于或等于第三预设值的信号，确定所述MEMS振镜的工作状态为损坏； 所述MEMS激光雷达利用电机驱动所述MEMS振镜，所述方法还包括： 若所述幅值不在设定范围内，且所述声音信号中存在与所述电机的转动频率一致的信号，确定所述MEMS振镜沾染水汽； 若所述幅值不在设定范围内，且所述声音信号中不存在与所述电机的转动频率一致的信号，确定所述MEMS振镜沾染油污。

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