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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利一种晶圆键合方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846592B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180007048.3，技术领域涉及：H10W80/00；该发明授权一种晶圆键合方法和系统是由邸文丽设计研发完成，并于2021-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合方法和系统在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆键合方法和系统，所述方法包括：提供键合关系，所述键合关系用于指示至少两个晶圆组之间的键合；根据所述键合关系获取所述键合关系对应的晶圆组的基本信息；对所述基本信息进行第一规则核查，核查成功后将所述晶圆组传送至键合站点；对传送至所述键合站点的所述晶圆组的所述基本信息进行更新，得到更新后的基本信息；对所述更新后的基本信息进行第二规则核查，核查成功后根据所述键合关系对传送至键合站点的所述晶圆组进行晶圆键合。

本发明授权一种晶圆键合方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合方法，其特征在于，所述键合方法包括： 提供用于指示至少两个晶圆组之间的键合的键合关系； 获取所述至少两个晶圆组的基本信息；所述基本信息包括选自以下组中至少一种：晶圆组的工艺信息、晶圆组的健康信息、晶圆组内晶圆的等级、晶圆组的异常状态、晶圆组的风险评估、晶圆组的工艺异常、晶圆组的缺陷； 对所述至少两个晶圆组进行规则核查，包括： 对所述至少两个晶圆组进行第一规则核查，若所述至少两个晶圆组的所述基本信息通过所述第一规则核查，则将所述至少两个晶圆组传送至键合站点；所述第一规则包括选自以下组中至少一种：晶圆组的制备工艺是否完成、产品标识是否匹配、键合类型和配对组合是否匹配、晶圆等级是否匹配、晶圆组标识是否覆盖每个晶圆、晶圆组是否安排键合、晶圆是否与多个晶圆键合； 对所述至少两个晶圆组进行第二规则核查，若所述至少两个晶圆组的更新后的基本信息通过所述第二规则核查，则根据所述键合关系对所述至少两个晶圆组进行晶圆键合；其中，所述更新后的基本信息通过对传送至所述键合站点的所述至少两个晶圆组的所述基本信息更新后得到；所述第二规则包括选自以下组中至少一种：晶圆组的制备工艺是否完成、产品标识是否匹配、键合类型和配对组合是否匹配、晶圆等级是否匹配、晶圆组标识是否覆盖每个晶圆、晶圆组是否安排键合、晶圆是否与多个晶圆键合、晶圆组是否合格。

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