广州昆德半导体测试技术有限公司王昕获国家专利权
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龙图腾网获悉广州昆德半导体测试技术有限公司申请的专利载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115078949B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210858509.4,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置是由王昕;叶灿明;王世进;李俊生设计研发完成,并于2022-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种载流子浓度镓基液态金属测量探头,导电线连接碳化钨棒,碳化钨棒的一端伸入由抗腐蚀材料制成的液态金属容器中,液态金属容器开设有贯通的容腔和毛细管,容腔连通毛细管;所述容腔内部填注镓基液态金属,镓基液态金属浸没碳化钨棒,利用在毛细管内的镓基液态金属形成测量探针,解决了探针安全性和环保的问题;该测量探针与测量样品为面接触,相比传统探针的点接触能够增大接触面积,使得测量数据的重复性好,提升了测量数据的准确度;使用诸如聚四氟乙烯等抗腐蚀材料的液态金属的容器及其毛细管,既不会被镓基合金腐蚀,也不会与镓基液态金属发生粘连,提升了镓基液态金属的流动性,从而提升测量精度。
本发明授权载流子浓度镓基液态金属测量探头及其装置在权利要求书中公布了:1.一种载流子浓度镓基液态金属测量装置,包括导电线,其特征在于: 所述导电线连接碳化钨棒,碳化钨棒的一端伸入由抗腐蚀材料制成的液态金属容器中; 所述液态金属容器开设有贯通的容腔和毛细管,容腔连通毛细管;其中,所述液态金属容器采用聚四氟乙烯材料制成; 所述容腔内部填注镓基液态金属,镓基液态金属浸没碳化钨棒; 所述容腔连通毛细管,毛细管开设有导柱,导柱采用抗腐蚀材料制成; 导柱的轴心线上开设有毛细孔,毛细孔与毛细管连通,毛细孔和毛细管的直径是1~3mm,毛细孔和毛细管的总长度为7~9mm,液态金属柱的下降和上升的行程是5~7mm,毛细管和毛细孔内的镓基液态金属形成液态金属柱;导柱具有弹性,能够产生柔性变形,当液态金属柱压在测量样品表面时可以更好地防止镓基液态金属从毛细管溢出; 所述镓基液态金属包括GaIn10、GaIn20或GalnSn; 所述容腔的开口设置盖板,盖板穿插碳化钨棒,碳化钨棒的另一端露出盖板之外; 所述盖板开设有若干个气孔; 所述液态金属容器和盖板被筒体和筒座封装,筒体和筒座螺纹连接成一体,筒体与容腔所构成的内部空间用于通入惰性气体或空气,且筒座与液态金属容器外侧面所构成的内部空间用于通入惰性气体或空气; 所述导电线引出筒体之外,筒体连通有气管快速接头; 所述筒座连通有氮气保护快速接头; 筒体和筒座组成氮气缸B,筒体具有一个开口,筒体的开口端螺纹连接筒座,筒座开设有通孔,筒体连接气管快速接头和SMA接头,筒座氮气保护快速接头,其中,自氮气缸B的气管快速接头输入正压10KPa的氮气; 筒体与容腔形成一个内部空间,筒座与液态金属容器的外侧面形成另一个内部空间; 一路氮气通过气管快速接头进气或抽气,加压使探头中的液态金属下降以接触样品表面,负压使液态金属上升以离开样品表面; 另一路氮气通过氮气保护快速接头,接一定压力的氮气源,使探头下端一直有氮气喷出,隔绝外界潮湿空气,避免液态金属被外界空气氧化,避免了镓基液态金属在表面产生氧化膜。
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