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龙图腾网获悉郑州轻工业大学申请的专利基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371601B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211048841.0，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法是由曹宁设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法在说明书摘要公布了：本发明属于微纳测量技术领域，公开一种基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法，包括以下步骤：步骤1，氧化锌抛光放置；对氧化锌进行抛光处理，将抛光后的面记为X‑Y面，将氧化锌放置到SEM的样品室内，使X‑Y面水平向上；步骤2，筛选两个晶界表面；步骤3，对晶界表面的立体结构进行三维表征；在晶界表面划分位置点，探测位置点的Z向高度，提取Z向高度数据；步骤4，获取位置点的电性能；步骤5，建立晶界立体结构与电性能原位映射表征数据库。

本发明授权基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法在权利要求书中公布了：1.一种基于纳米机器人的晶界立体结构与电性能原位映射表征方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，氧化锌抛光放置；对氧化锌进行抛光处理，将抛光后的面记为X-Y面，将氧化锌放置到SEM的样品室内，使X-Y面水平向上； 步骤2，筛选两个晶界表面：首先利用SEM对氧化锌X-Y面内的全部二维晶界表面进行初步成像，筛选出X-Y面内二维晶界轮廓形状清晰的区域作为目标晶界区域，然后再利用SEM从目标晶界区域里筛选出两个晶粒的晶界表面，记为GS1和GS2； 步骤3，对晶界表面的立体结构进行三维表征；在晶界表面划分位置点，探测位置点的Z向高度，提取Z向高度数据； 步骤4，获取位置点的电性能； 步骤5，建立晶界立体结构与电性能原位映射表征数据库； 在步骤3中，在晶界表面划分位置点的方法包括以下步骤： 3.1提取GS1的轮廓，将GS1的轮廓以长度L1等间距依次缩小，获得n个轮廓，n-1与2L1的乘积小于GS1内X向最长线段，使得晶界表面GS1各轮廓与GS1内X向最长线段相交的第一个位置点依次划分为a11，a21，……，an1；然后将所有轮廓由大到小分别沿周向进行m等分，等分点记为周向位置点，将所有轮廓的周向位置点依次划分为a11，a12，……，a1m、a21，a22，……，a2m、……、an1，an2，……，anm； 3.2提取GS2的轮廓，将GS2的轮廓以长度L2等间距依次缩小，获得p个轮廓，然后将所有轮廓由大到小分别沿周向进行q等分，等分点记为周向位置点，将所有轮廓的周向位置点依次划分为b11，b12，……，b1q、b21，b22，……，b2q、……、bp1，bp2，……，bpq； 探测位置点的Z向高度的方法包括以下步骤： 3.3控制纳米机器人末端移动至位置点a11上方，控制纳米机器人末端沿Z向向下运动直至位置点a11处的晶粒，探测位置点a11处的晶粒的Z向高度； 3.4重复步骤3.3的方法，控制机器人末端按照沿位置点a12，……，a1m、a21，a22，……，a2m、……、an1，an2，……，anm的顺序，依次探GS1在X-Y面内的各个位置点处的晶粒的Z向高度，获取GS1的各个位置点处的晶粒的Z向相对高差； 3.5使用所有位置点的相对高度差，提取GS1的所有位置点处的晶粒的Z向高度的立体结构数据； 3.6重复步骤3.3、3.4和3.5的方法，提取GS2的所有位置点处的晶粒的Z向高度的立体结构数据。

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