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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115668437B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180036355.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法是由I·罗阿克-尼尔;M·雅各布-埃隆;G·埃坦;M·Y·舒尔曼;S·鲁尔;M·拉狄克;I·克雷维茨设计研发完成，并于2021-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法在说明书摘要公布了：一种清洁度监测器、一种评估系统和一种方法。清洁度监测器可包括：第一真空腔室、第二真空腔室、分子收集器、释放单元、质谱仪、可经配置以使分子收集器从第一位置移动至第二位置的操纵器、以及分析仪。质谱仪可具有至第二真空腔室的内部空间的视线。质谱仪可经配置以监测第二真空腔室的内部空间，并产生指示第二真空腔室的内部空间的内容物的检测信号。检测信号的第一子集可指示经释放有机分子的至少子集的存在。分析仪可经配置以基于检测信号确定a第一真空腔室和b受测试真空腔室中的至少一者的清洁度。受测试真空腔室流体耦合至第一真空腔室。

本发明授权用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法在权利要求书中公布了：1.一种清洁度监测器，包括： 第一真空腔室； 第二真空腔室； 质谱仪，所述质谱仪具有至所述第二真空腔室的内部空间的视线； 分子收集器，所述分子收集器经配置以在聚集周期期间并且当定位在所述第一真空腔室内的第一位置时聚集存在于所述第一真空腔室中的有机分子，以提供经聚集有机分子； 释放单元，所述释放单元经配置以在释放周期期间并且当所述分子收集器定位在所述第二真空腔室内的第二位置时引发所述经聚集有机分子的至少子集朝向所述质谱仪的释放，以提供经释放有机分子； 操纵器，所述操纵器经配置以使所述分子收集器从所述第一位置移动至所述第二位置；并且 其中所述质谱仪经配置以监测所述第二真空腔室的所述内部空间并且产生指示所述第二真空腔室的所述内部空间的内容物的检测信号；其中所述检测信号的第一子集指示所述经释放有机分子的存在；以及 分析仪，所述分析仪经配置以基于所述检测信号来确定a所述第一真空腔室和b流体耦合至所述第一真空腔室的受测试真空腔室中的至少一者的所述清洁度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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