ASML荷兰有限公司郭蕴博获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于转换量测数据的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115797251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211028992.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权用于转换量测数据的方法是由郭蕴博;王竹;杨丰;赵谦;冯牧;王祯祥设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于转换量测数据的方法在说明书摘要公布了：本文描述了一种量测系统和用于经由经训练的机器学习ML模型转换量测数据的方法。所述方法包括：访问由第一扫描电子量测SEM系统获取的第一SEM数据集例如图像、轮廓灯和由第二SEM系统获取的第二SEM数据集，其中所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集与图案化衬底相关联。使用所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集作为训练数据，机器学习ML模型被训练，使得所述经训练的ML模型被配置为将由所述第二SEM系统获取的量测数据集转换为转换数据集，所述转换数据集具有与由所述第一SEM系统获取的量测数据相当的特性。此外，测量值可以基于所述经转换的SEM数据来确定。
本发明授权用于转换量测数据的方法在权利要求书中公布了：1.一种在其上记录有指令的非瞬态计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时实施用于转换与量测系统相关联的数据的方法，所述方法包括： 访问由第一扫描电子量测SEM系统获取的第一SEM数据集和由第二SEM系统获取的第二SEM数据集，所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集与图案化衬底相关联；以及 使用所述第一SEM数据集和所述第二SEM数据集作为训练数据，训练机器学习ML模型，使得经训练的ML模型被配置为将由所述第二SEM系统获取的量测数据集转换为转换数据集，所述转换数据集具有与由所述第一SEM系统获取的量测数据相当的特性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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