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应用材料公司利亚姆·S·罗伯特获国家专利权

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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利固定环获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115916462B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180046280.8,技术领域涉及:B24B37/32;该发明授权固定环是由利亚姆·S·罗伯特;埃里克·A·邦恩设计研发完成,并于2021-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

固定环在说明书摘要公布了:本公开内容提供一种用于半导体基板抛光的固定环。固定环包括构造为接触抛光垫的底面和构造为附接到承载头的顶面。顶面包括多个螺孔和多个对准槽。顶面也包含第一插入件,第一插入件设置在多个对准槽中的第一对准槽中,第一插入件与顶面齐平或低于顶面,且其中第一插入件构造为防止对准销插入第一对准槽中。

本发明授权固定环在权利要求书中公布了:1.一种固定环,包含: 底面,所述底面构造为接触抛光垫;和 顶面,所述顶面构造为附接至承载头,其中所述顶面包含: 多个螺纹螺孔; 多个对准槽,每个对准槽被构造为接受对准销;和 第一插入件,所述第一插入件设置在所述多个对准槽中的第一对准槽中,所述第一插入件与所述顶面齐平或低于所述顶面,所述第一插入件构造为防止所述对准销插入所述第一对准槽中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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