长鑫存储技术有限公司周晓方获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利处理晶圆的方法、装置、设备、存储介质及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115936347B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211448613.2，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权处理晶圆的方法、装置、设备、存储介质及系统是由周晓方;李朝阳设计研发完成，并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理晶圆的方法、装置、设备、存储介质及系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种处理晶圆的方法、装置、设备、存储介质及系统，其中，所述方法包括：获取当前批次晶圆的调度路径；其中，所述调度路径中包括对所述当前批次晶圆进行处理的至少一个调度站点和各所述调度站点之间的调度顺序；确定每一所述调度站点分别对应的工艺程式；其中，具有相同工艺条件的至少两个调度站点对应的工艺程式相同；基于所述调度顺序，依次调度每一所述调度站点执行所述调度站点对应的工艺程式，以对所述当前批次晶圆进行工艺处理。
本发明授权处理晶圆的方法、装置、设备、存储介质及系统在权利要求书中公布了：1.一种处理晶圆的方法，其特征在于，所述方法包括： 获取当前批次晶圆的调度路径；其中，所述调度路径中包括对所述当前批次晶圆进行处理的至少一个调度站点和各所述调度站点之间的调度顺序； 确定每一所述调度站点分别对应的工艺程式；其中，具有相同工艺条件的至少两个调度站点对应的工艺程式相同,所述具有相同工艺程式的多个所述调度站点被预先配置一个工艺程式； 基于所述调度顺序，依次调度每一所述调度站点执行所述调度站点对应的工艺程式，以对所述当前批次晶圆进行工艺处理。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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