福建兆元光电有限公司李文浩获国家专利权
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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种LED晶圆片镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115954416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211469911.X,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种LED晶圆片镀膜方法是由李文浩;林武;尚大可设计研发完成,并于2022-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED晶圆片镀膜方法在说明书摘要公布了:本发明涉及LED芯片技术领域,具体涉及一种LED晶圆片镀膜方法,包括如下步骤:S2:设置镀锅50‑60cm的公转半径;水平方向上,设置镀源距离镀锅的公转轴线18‑27.5cm;S4:设置镀源开始蒸镀的同时,设置镀锅公转转速6‑10rpm,镀锅绕自身轴线自转,自转速度250‑300°S;本发明的有益效果:使用本发明提供的LED晶圆片镀膜方法蒸镀出的电极,电极侧壁与晶圆片表面的坡度平缓,在这种电极上设置电极保护层,电极保护层能更好的保护电极。
本发明授权一种LED晶圆片镀膜方法在权利要求书中公布了:1.一种LED晶圆片镀膜方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:将晶圆片设置在蒸镀机的镀锅上;将镀源设置在镀锅下方; S2:水平方向上,设置镀源到镀锅的公转轴线的距离为镀锅的公转半径的0.3-0.5倍; S3:将镀料放置到镀源上; S4:设置镀源开始蒸镀的同时,设置镀锅公转转速6-10rpm,镀锅绕自身轴线自转,自转速度250-300°S; S5:完成晶圆片的电极蒸镀; 所述S1具体为:将晶圆片设置在蒸镀机的镀锅上;将镀源设置在镀锅下方;竖直方向上,镀源到镀锅表面中心的距离为600-700mm;设置镀锅表面与水平面的夹角为39-43度。
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