东京毅力科创株式会社中岛孝一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板载置方法和基板载置机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115995418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211249558.4，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权基板载置方法和基板载置机构是由中岛孝一;朝仓贤太朗;加贺谷靖之设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板载置方法和基板载置机构在说明书摘要公布了：本发明提供基板载置方法和基板载置机构。在向载置台的载置面载置基板时，即使在基板产生横向偏移而使基板卡定于非期望的位置时，也能够将基板载置于期望的位置。载置基板的基板载置方法具有以下工序：使以相对于载置面能够突出没入的方式设置的升降销位于向载置面的上方突出来的基板交接位置，并向升降销上交接基板；接着，使载置有基板的升降销向所述载置面的下方的基板载置位置下降；以及接着，使升降销上升微小距离接着返回基板载置位置，在使升降销自基板交接位置向基板载置位置下降时，在基板的边缘卡定于锥面的情况下，利用使升降销上升微小距离接着返回基板载置位置的工序，解除边缘的相对于锥面的卡定而将基板向载置面引导。
本发明授权基板载置方法和基板载置机构在权利要求书中公布了：1.一种基板载置方法，在该基板载置方法中，在对基板进行处理的基板处理装置的腔室内，将基板载置于载置台的载置面，该载置台具有用于载置基板的所述载置面和设于所述载置面的外周的用于引导基板的锥面，所述锥面呈圆环状地形成，其中， 该基板载置方法具有以下工序： 使以相对于所述载置面能够突出没入的方式设置的升降销位于向所述载置面的上方突出来的基板交接位置，并向所述升降销上交接基板的工序； 接着，使载置有所述基板的所述升降销向所述载置面的下方的基板载置位置下降的工序；以及 接着，使所述升降销上升微小距离接着返回基板载置位置的工序， 在使所述升降销自所述基板交接位置向所述基板载置位置下降时，在所述基板的边缘卡定于所述锥面的情况下，利用使所述升降销上升微小距离接着返回所述基板载置位置的工序，解除所述边缘的相对于所述锥面的卡定，并且在使所述升降销返回至所述基板载置位置的过程中，所述边缘在所述锥面滑动，从而所述基板被载置于所述载置面。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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