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矽电半导体设备(深圳)股份有限公司沈杰获国家专利权

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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利探针升降装置及探针台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116047127B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310001481.7,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权探针升降装置及探针台是由沈杰;杨应俊设计研发完成,并于2023-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

探针升降装置及探针台在说明书摘要公布了:本发明公开了一种探针升降装置及探针台。本发明的探针升降装置包括固定座、电机、第一偏心轮、第二偏心轮和调节座;电机设置于固定座上,电机包括电机轴;第一偏心轮套设于电机轴上,并能够与电机轴同步转动;第二偏心轮包括主体部和连接轴,主体部套设于第一偏心轮,第二偏心轮与第一偏心轮转动连接;调节座用于连接探针,并能够调节探针的位置,调节座与固定座沿设定方向滑动连接,连接轴与调节座转动连接,以使电机轴的转动能够带动调节座沿设定方向的移动。该探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合,将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动,传动的误差较小,调节座的运动精度较高。

本发明授权探针升降装置及探针台在权利要求书中公布了:1.探针升降装置,其特征在于,包括: 固定座; 电机,所述电机设置于所述固定座上,所述电机包括电机轴; 第一偏心轮,所述第一偏心轮套设于所述电机轴上,并能够与所述电机轴同步转动; 第二偏心轮,所述第二偏心轮包括主体部和连接轴,所述主体部套设于所述第一偏心轮,所述第二偏心轮与所述第一偏心轮转动连接; 调节座,所述调节座用于连接探针,并能够调节所述探针的位置,所述调节座与所述固定座沿设定方向滑动连接,所述连接轴与所述调节座转动连接,以使所述电机轴的转动能够带动所述调节座沿所述设定方向的移动; 所述调节座包括基座、第一滑动座和第一调节件,所述第一滑动座与所述基座沿第一方向滑动连接,所述第一调节件设置于所述第一滑动座上,并与所述基座抵接,以驱动所述第一滑动座沿所述第一方向移动,所述调节座还包括第一弹性件,所述第一弹性件沿所述第一方向设置,所述第一弹性件的一端连接所述基座,另一端连接所述滑动座,所述第一滑动座和所述基座的相对位移能够使所述第一弹性件发生弹性变形; 所述调节座还包括第二滑动座和设置于所述第二滑动座上的第二调节件,所述第二滑动座和所述第一滑动座沿第二方向滑动连接,所述第二调节件与所述第一滑动座抵接,以驱动所述第二滑动座沿所述第二方向移动; 所述调节座还包括第三滑动座和设置于所述第三滑动座上的第三调节件,所述第三滑动座和所述第二滑动座沿第三方向滑动连接,所述第三调节件与所述第二滑动座抵接,以驱动所述第三滑动座和所述第二滑动座沿所述第三方向产生相对位移; 其中,所述第三滑动座用于连接所述探针。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,其通讯地址为:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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