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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利静电场偏转器及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092901B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110584540.9，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权静电场偏转器及其加工方法是由李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电场偏转器及其加工方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，包括：偏转极板与绝缘安装座，绝缘安装座中部具有安装孔，偏转极板整体呈柱体，外侧壁与安装孔相适配，偏转极板固定在安装孔内，且偏转极板的中部具有光轴孔，光轴孔与安装孔同轴设置，其中，偏转极板沿其径向分为偶数瓣的偏转极块。包括通过将偏转极板固定在绝缘安装座内，且偏转极板的光轴孔与安装孔同轴设置，使电子束尽可能垂直的通过静电场偏转器的几何中心，又将偏转极板沿其径向平均切割成偶数瓣的偏转极块，相对的两个偏转极块形成一个静电场，有效的提高了静电场的均匀性，以使扫描电镜减小了相差，提高的分辨率，检测精度的提高能够适用于更高制程的产线。

本发明授权静电场偏转器及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种静电场偏转器，适用于安装在扫描电镜内，其特征在于，包括偏转极板与绝缘安装座； 所述绝缘安装座中部具有安装孔； 所述偏转极板整体呈柱体，外侧壁与所述安装孔相适配，所述偏转极板固定在所述安装孔内，且所述偏转极板的中部具有光轴孔，所述光轴孔与所述安装孔同轴设置； 其中，所述偏转极板沿其径向平均分为偶数瓣的偏转极块； 所述偏转极块的上部侧壁伸出所述绝缘安装座并向外延伸有第一延伸部，所述第一延伸部的上表面低于所述偏转极块的上表面，所述第一延伸部下表面与所述绝缘安装座上表面相接触； 所述偏转极板为圆柱体，所述偏转极板未延伸有所述第一延伸部的侧壁表面上开设有沟槽，与所述安装孔内壁相接触，单个所述第一延伸部的纵向投影为扇环，所述扇环内沿与所述偏转极块的外壁相接触，且所述扇环的下表面水平，所述第一延伸部的纵向投影成环形，且所述偏转极块的上表面高于所述第一延伸部的上表面； 所述绝缘安装座的上部侧壁向外延伸有第二延伸部，所述第二延伸部在竖直方向呈环形结构，所述第二延伸部上开设有四个固定螺孔，所述固定螺孔到所述安装孔的轴心距离相等，且相邻的所述固定螺孔连线构成正方形结构；每个所述偏转极块上的所述第一延伸部在竖直方向拼接成环形结构，且所述偏转极块的环形结构外径小于所述第二延伸部的环形结构外径； 所述第一延伸部的上表面开设有压线孔，侧壁开设有进线孔。

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