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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利对中机构及具有其的扫描电镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092902B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110584543.2，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权对中机构及具有其的扫描电镜是由李帅辰;蒋磊;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本对中机构及具有其的扫描电镜在说明书摘要公布了：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。

本发明授权对中机构及具有其的扫描电镜在权利要求书中公布了：1.一种对中机构，其特征在于，用于安装在扫描电镜中，对所述扫描电镜中的电子束进行对中校准，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体； 所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构； 所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间设有距离； 所述安装槽的槽底处开设有适用于安装与所述电子束对准的部件的安装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置，且所述安装孔与探测器同轴设置； 所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第一凸台在所述安装槽内移动； 所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间隔分布； 其中，还包括物镜腔体，所述物镜腔体可拆卸安装在所述安装腔体背离所述电子枪腔体的一侧； 所述物镜腔体上开设有与所述第一通孔同轴设置的第二通孔，所述物镜腔体朝向所述安装腔体的一端开设有放置槽； 所述安装腔体朝向所述放置槽的一侧设有第二凸台，所述第二凸台放置在所述放置槽内，所述第二凸台的外侧壁与所述放置槽的内侧壁之间设有距离； 所述物镜腔体开设有放置槽处的侧壁上可移动安装有第二调节件，所述第二调节件设有多个，多个所述第二调节件沿所述放置槽的周向间隔分布； 多个所述第二调节件均贯穿所述放置槽的侧壁设置，用于推动所述第二凸台在所述放置槽内移动； 所述第二凸台的侧壁与第一凸台的侧壁平行设置；物镜腔体的顶部端面与安装腔体的底部端面平行设置，且物镜腔体与安装腔体装配后，物镜腔体的顶部端面与安装腔体的底部端面重合设置；物镜腔体的顶部端面与安装腔体的安装槽的槽底平行设置。

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