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龙图腾网获悉中科晶源微电子技术(北京)有限公司申请的专利对中机构及具有其的扫描电镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092903B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110587257.1，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权对中机构及具有其的扫描电镜是由李帅辰;孟庆浪;蒋磊;孙伟强;蒋俊海设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本对中机构及具有其的扫描电镜在说明书摘要公布了：本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈绕第一通孔设置的环状结构；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台放置在安装槽内部，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有安装孔，安装孔贯穿安装腔体设置，安装孔处安装消像散器；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁设置，第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其使得消像散器的电场中心与光轴中心重合，从而实现消像散器的对中。

本发明授权对中机构及具有其的扫描电镜在权利要求书中公布了：1.一种对中机构，其特征在于，用于安装在扫描电镜中，对所述扫描电镜中的消像散器的电场中心与光轴中心的相对关系进行调整，包括依次可拆卸连接的电子枪腔体和安装腔体； 所述安装腔体的顶部端面与所述电子枪腔体的底部端面平行设置，且所述电子枪腔体与所述安装腔体完成装配后，所述电子枪腔体的底部平端面与所述安装腔体的顶部端面抵接设置； 所述电子枪腔体上开设有第一通孔，所述电子枪腔体朝向所述安装腔体的一侧设有第一凸台，所述第一凸台呈绕所述第一通孔设置的环状结构； 所述安装腔体朝向所述电子枪腔体的一侧开设有安装槽，所述第一凸台放置在所述安装槽内部，所述第一凸台的外侧壁与所述安装槽的内侧壁之间设有距离； 所述安装槽的槽底处开设有安装孔，所述安装孔贯穿所述安装腔体设置，所述安装孔适用于安装所述消像散器；所述安装孔呈阶梯孔状，所述安装孔的顶部的孔径大于所述安装孔的底部孔径，包括第一孔和第二孔，其中，第一孔邻近电子枪腔体设置，且第一孔的孔底端面与安装腔体的顶部端面平行设置，以使所述消像散器完全的置于安装孔内； 所述安装腔体开设所述安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，所述第一调节件贯穿所述安装腔体的侧壁设置，所述第一调节件用于推动所述第一凸台在所述安装槽内移动； 所述第一调节件设有多个，多个所述第一调节件沿所述安装槽的周向间隔分布。

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