中南大学马运柱获国家专利权
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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种软脆材料碲锌镉晶片的低损伤表面抛光工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116423301B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310258552.1，技术领域涉及：B24B1/04；该发明授权一种软脆材料碲锌镉晶片的低损伤表面抛光工艺方法是由马运柱;黄哲;唐思危;刘文胜;陈柏杉设计研发完成，并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种软脆材料碲锌镉晶片的低损伤表面抛光工艺方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种研磨抛光技术，具体涉及一种表面低损伤磨抛碲锌镉晶片磨抛的方法。所述方法为：将待抛光的碲锌镉晶片固定后先进行水平振动抛光；然后进行水平振动化学抛光；振动抛光时控制振动频率为1000‑5000Hz，时间为2‑8小时；振动化学抛光时，控制频率为1000‑5000Hz，时间为2‑8小时；水平振动抛光时所用抛光液由颗粒度为40‑65nm的氧化铝抛光粉和去离子水按体积比1:15‑25组成；水平振动化学抛光时所用抛光液为硅酸浓度为3‑8wt％的硅酸溶液。本发明操作简单可控，所得产品的表面粗糙度为7.9‑9.65nm；便于工业化应用。
本发明授权一种软脆材料碲锌镉晶片的低损伤表面抛光工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种软脆材料碲锌镉晶片的低损伤表面抛光工艺方法；其特征在于：将待抛光的碲锌镉晶片固定后先进行水平振动抛光；然后进行水平振动化学抛光；振动抛光时将绒面抛光布安装至振动抛光机1号，将配置好的抛光液倒入抛光机的磨盘上，至抛光液均匀分布整个磨盘；将样块放置在磨盘上进行水平振动抛光，设置水平振动抛光的频率为2000-3600Hz，时间4-6小时；振动化学抛光时，对水平振动抛光结束后采用去离子水或无水乙醇对CZT晶片表面进行清洗后用高压氮气吹干后进行水平振动化学抛光时，将另一崭新绒面抛光布安装至振动抛光机2号，倒入硅酸浓度为3-8wt%的硅酸溶液直至覆盖整个磨盘；将样块放置在磨盘上进行水平振动化学抛光，设置振动频率为2000-3600Hz，时间为4-6小时； 水平振动抛光时所用抛光液由颗粒度为40-65nm的氧化铝抛光粉和去离子水按体积比1:15-25组成； 所得产品的表面粗糙度为7.9-9.65nm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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