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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116815131B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310866871.0，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置是由高岗;秦宇婕;朱嘉琦;李坤;段超设计研发完成，并于2023-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置在说明书摘要公布了：适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置，本发明为了解决传统电子束蒸发在双曲面样件表面沉积均匀性差的问题。本发明电子束蒸发镀膜的装置包括真空腔、台架和多自由度样品台，所述的多自由度样品台包括升降装置、旋转装置、主轴、升降波纹管和旋转轴，旋转装置中的传动轮与自转磁力耦合器的外壳通过皮带传动，第一连杆上的自转主齿轮与旋转轴上的自转从动齿轮相啮合，主轴的底部设置有旋转架，旋转架上设置有电机盒和第二轴承座。在电子束沉积镀膜时，升降丝杆上的螺纹带动样品升降滑块上下运动，磁力耦合自转主齿轮带动从动齿轮实现样品自转。驱动齿轮咬合球面齿轮实现球形齿轮沿着球面运动，从而使双曲面样件表面实现均匀沉积。

本发明授权适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置在权利要求书中公布了：1.适用于双曲面光学窗口表面镀膜的电子束蒸发镀膜的装置，其特征在于该电子束蒸发镀膜的装置包括真空腔1、台架2和多自由度样品台，真空腔1固定安装在台架2的台面上，其中所述的多自由度样品台A包括升降装置、旋转装置、主轴14、升降波纹管15和旋转轴17，第一法兰3-1和第二法兰3-2设置在真空腔1的顶部，第一法兰3-1和第二法兰3-2相平行且第一法兰3-1位于第二法兰3-2的上部； 所述的升降装置包括第一连接台4、升降手摇轮5、第一传动带轮6、第二传动带轮7、第一连接块8、第一挡块9、两根光轴10、导向丝杆11和升降滑块12，第一连接块8固定在第一连接台4的上表面，在第一连接块8上竖立有导向丝杆11和两根光轴10，导向丝杆11和两根光轴10的顶部设置有第一挡块9，升降滑块12套设在导向丝杆11和两根光轴10上，导向丝杆11与第一连接块8之间设置有轴承，导向丝杆11的下端穿过第一连接台4并设置有第二传动带轮7，轴承座13固定在第一连接台4的上表面，手摇轮转轴设置在轴承座13内，手摇轮转轴的上端与升降手摇轮5相连，手摇轮转轴的下端设置有第一传动带轮6，第一传动带轮6和第二传动带轮7之间通过皮带传动； 升降波纹管15竖直安装在第一法兰3-1的上表面，第一法兰3-1的下表面设置有外管31，外管31的下端与旋转轴17转动连接，自转从动齿轮17-1套设在旋转轴17的外表面，升降波纹管15的顶部设置有连接块32，升降滑块12与连接块32相连，连接块32的下表面通过内置轴承30与主轴14转动连接，主轴14延伸至旋转轴17的轴筒内，主轴14与旋转轴17通过键14-1相连； 旋转装置包括电机20、传动轮21、自转磁力耦合器22、第一连杆23和自转主齿轮24，电机20和自转磁力耦合器22设置在第一法兰3-1的上方，传动轮21设置在电机20的动力输出轴上，传动轮21与自转磁力耦合器22的外壳通过皮带传动，第一连杆23竖直设置，第一连杆23的一端与自转磁力耦合器22磁力耦合，第一连杆23的另一端设置有自转主齿轮24，自转主齿轮24与旋转轴17上的自转从动齿轮17-1相啮合； 主轴14的底部设置有旋转架19，旋转架19的底部设置有电机盒25和第二轴承座，电机盒25上设置有驱动齿轮，球齿轮26内置在第二轴承座内，驱动齿轮与球齿轮26相啮合，在球齿轮26上设置样品夹。

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