信越化学工业株式会社桥上洋获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利制膜方法及制膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116888300B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280016546.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权制膜方法及制膜装置是由桥上洋设计研发完成，并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本制膜方法及制膜装置在说明书摘要公布了：本发明是一种制膜方法、制膜装置及层叠体，在基体上进行制膜的步骤与利用排气单元排气的步骤中，在基体上以隔着空间与基体相向的方式配置通道板，形成在基体上的空间中混合气以沿着基体的主表面的至少一部分的方式从混合气供给单元朝向排气单元线性流动的混合气流，以遮挡混合气流偏离从混合气供给单元朝向排气单元的方向的方式在通道板的一部分和或载台的一部分形成凸部，以形成比通道板与基体之间的空间中的最短距离d1小的宽度d2的空隙的方式配置通道板与凸部，进行制膜及排气。由此，可提供一种能够以高生产性制造表面缺陷或异物的附着显著减少的高品质的膜的制膜方法。
本发明授权制膜方法及制膜装置在权利要求书中公布了：1.一种制膜方法，其特征在于，包括： 将原料溶液雾化而形成原料雾的步骤； 将所述原料雾与载气混合而形成混合气的步骤； 将基体载置于载台的步骤； 将所述混合气从混合气供给单元供给至所述基体并在所述基体上进行制膜的步骤； 利用排气单元对所述制膜后的混合气进行排气的步骤； 在所述基体上进行制膜的步骤与利用所述排气单元排气的步骤中， 在所述基体上以隔着空间与所述基体相向的方式配置通道板， 形成在所述基体上的空间中所述混合气以沿着所述基体的主表面的至少一部分的方式从所述混合气供给单元朝向所述排气单元线性流动的混合气流， 以遮挡所述混合气流偏离从所述混合气供给单元朝向所述排气单元的方向的方式在所述通道板的一部分和或所述载台的一部分形成凸部， 以形成比所述通道板与所述基体之间的所述空间中的最短距离d1小的宽度d2的空隙的方式配置所述通道板与所述凸部，进行所述制膜及所述排气。
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