午芯(辽宁省)高科技有限公司姜贵民获国家专利权
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龙图腾网获悉午芯(辽宁省)高科技有限公司申请的专利竖置极板电容式敏感芯片结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116973010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210431517.0,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权竖置极板电容式敏感芯片结构是由姜贵民;杨宇新;杨超设计研发完成,并于2022-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本竖置极板电容式敏感芯片结构在说明书摘要公布了:竖置极板电容式压力敏感芯片结构属于微机电系统MEMS技术领域,尤其涉及一种电容式压力敏感芯片结构。本发明就是针对上述问题,提供一种竖置极板电容式压力敏感芯片结构。本发明包括竖置第一极板1和与第一极板1相对的竖置第二极板2,其特征在于第一极板1与第二极板2之间为第一腔体3。
本发明授权竖置极板电容式敏感芯片结构在权利要求书中公布了:1.竖置极板电容式敏感芯片结构,包括竖置第一极板1和与第一极板1相对的竖置第二极板2,其特征在于第一极板1与第二极板2之间为第一腔体3;所述第一腔体3的无极板侧壁外围和第一腔体3的底部是衬底5; 属于MEMS技术领域; 电极板竖置设置,当有压力作用于可动极板时,感压极板从腔体侧面左右方向感压,芯片的面积达到极度优化,大幅度减小芯片的面积尺寸。
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