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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种复合靶材的凝胶法制备工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117550887B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311505871.4，技术领域涉及：C04B35/457；该发明授权一种复合靶材的凝胶法制备工艺是由张莉兰;王恒煜;高建成;余芳;钟小华设计研发完成，并于2023-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种复合靶材的凝胶法制备工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种复合靶材的凝胶法制备工艺，属于靶材制备技术领域，包括以下步骤：将ITO粉体和去离子水混合后，通过机械球磨得到浆料，加入分散组分、单体和交联剂，调节pH为9‑10，继续球磨10‑15h，得到预混液，之后加入引发剂和催化剂，搅拌均匀后，浇注于模具中并干燥，脱模，得到靶材坯体；将靶材坯体干燥，脱脂，之后烧结，得到复合靶材，本发明采用自制的分散组分，利用其低黏度特性，获得高固含量、低粘度、高分散度的浆料，并借助该分散组分的低收缩特性和烯丙基抵抗氧阻聚的能力，减少单体与交联剂等物质反应的收缩变形以及氧阻聚的影响，进而解决现有凝胶法制备ITO靶材密度低以及ITO靶材坯体翘曲变形的问题。

本发明授权一种复合靶材的凝胶法制备工艺在权利要求书中公布了：1.一种复合靶材的凝胶法制备工艺，其特征在于，包括以下步骤： 1将ITO粉体和去离子水混合后，通过机械球磨得到固含量为86-92%的浆料，加入分散组分、单体和交联剂，用氨水调节pH为9-10，继续球磨10-15h，得到预混液，之后加入引发剂和催化剂，搅拌均匀后，浇注于模具中并于55-70℃干燥2-5h，脱模，得到ITO靶材坯体； 2将ITO靶材坯体在150-220℃下干燥5-10h，在400-800℃下脱脂20-30h，ITO粉体之后升温至1450-1550℃，保温6-10h进行烧结，得到复合靶材； 其中，分散组分由端羟基超支化聚醚和氯乙酸烯丙酯反应得到; 分散组分通过以下步骤制成： S1、向四口烧瓶中加入烯丙基聚氧乙烯醚，氮气氛围下，加入氢氧化钾，搅拌10-20min后，升温至115-120℃，滴加环氧丙醇，滴加结束后，保温反应4-5h，反应结束后，得到端羟基超支化聚醚； S2、将S1所得端羟基超支化聚醚、氯乙酸烯丙酯、无水乙醇置于烧瓶中，用40wt%氢氧化钠溶液调节pH为8,60℃下搅拌反应18h，反应结束后，减压蒸馏去除无水乙醇和水，得到分散组分。

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