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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117773765B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211169540.3，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种化学机械抛光设备是由具滋贤设计研发完成，并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：一种化学机械抛光设备，涉及半导体技术领域，该化学机械抛光设备包括拆装组件和抛光组件，拆装组件包括至少两个沿周向同轴心设置的第一HCLU，抛光组件包括至少两组，至少两组抛光组件沿周向同轴心设置，每组抛光组件包括抛光盘以及至少两个沿周向同轴心设置的研磨头，抛光组件的轴心与第一HCLU的轴心重合，研磨头的轴心与抛光盘的圆心重合；当第一HCLU受驱转动至与抛光组件位于同一延伸方向上时，研磨头受驱运动至第一HCLU的正上方，第一HCLU用于将晶圆传递给研磨头或将晶圆从研磨头上取出，研磨头受驱运动至抛光盘的正上方，研磨头用于带动晶圆相对抛光盘运动。该化学机械抛光设备能够有效提高CMP设备的产量和产能。

本发明授权一种化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括拆装组件和抛光组件，所述拆装组件包括至少两个沿周向同轴心设置的第一晶圆拆卸单元，所述抛光组件包括至少两组，至少两组所述抛光组件沿周向同轴心设置，每组所述抛光组件包括抛光盘以及至少两个沿周向同轴心设置的研磨头，所述抛光组件的轴心与所述第一晶圆拆卸单元的轴心重合，所述研磨头的轴心与所述抛光盘的圆心重合； 当所述第一晶圆拆卸单元受驱转动至与所述抛光组件位于同一延伸方向上时，所述研磨头受驱运动至所述第一晶圆拆卸单元的正上方，所述第一晶圆拆卸单元用于将晶圆传递给所述研磨头或将晶圆从所述研磨头上取出，所述研磨头受驱运动至所述抛光盘的正上方，所述研磨头用于带动所述晶圆相对所述抛光盘运动； 所述化学机械抛光设备包括第一固定轴、以及至少两个转动设置于所述第一固定轴上的第一固定架、第二固定轴、以及至少两个固定设置于所述第二固定轴上的第二固定架，所述第一晶圆拆卸单元固定安装在所述第一固定架上，所述研磨头活动安装在所述第二固定架上，所述第一固定轴的正投影和所述第二固定轴的正投影重合。

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