应用材料公司B·K·柯克帕特里克获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利利用经引导的高压化学品进行表面清洁获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118103968B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280069749.4，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权利用经引导的高压化学品进行表面清洁是由B·K·柯克帕特里克;E·A·米克海利琴科;B·J·布朗设计研发完成，并于2022-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用经引导的高压化学品进行表面清洁在说明书摘要公布了：清洁腔室可包括具有基板安置位置的基板支撑件。清洁腔室可包括面向基板支撑件的多个流体喷嘴。多个流体喷嘴中的每个流体喷嘴可限定流体端口，所述流体端口由前缘和后缘表征。多个流体喷嘴中的每个流体喷嘴可相对于基板支撑件的基板安置位置倾斜，以针对从流体端口的前缘处的每个流体喷嘴输送的流体在跨基板安置位置的交叉位置处产生大于或约为90°的内角。
本发明授权利用经引导的高压化学品进行表面清洁在权利要求书中公布了：1.一种清洁腔室，包括： 基板支撑件，所述基板支撑件包括基板安置位置；以及 多个流体喷嘴，所述多个流体喷嘴面向所述基板支撑件，其中所述多个流体喷嘴中的每个流体喷嘴被对准并且相对于所述基板支撑件的所述基板安置位置倾斜，每个流体喷嘴以不重叠的相应喷射图案输送流体，所述不重叠的相应喷射图案由前缘和后缘表征，其中每个不重叠的相应喷射图案的每个前缘以大于或约为90°的内角与所述基板接触。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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