无锡中微腾芯电子有限公司唐彩彬获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡中微腾芯电子有限公司申请的专利一种集成电路熔丝修调阵列测试装置及测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118425734B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410536904.X,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权一种集成电路熔丝修调阵列测试装置及测试方法是由唐彩彬;孙恺凡;张凯虹设计研发完成,并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成电路熔丝修调阵列测试装置及测试方法在说明书摘要公布了:本发明涉及集成电路测试技术领域,具体公开了一种集成电路熔丝修调阵列测试装置及测试方法,该测试装置包括测试机和探针台,测试机上设置有DUT板,探针台上设置有探针卡和待测晶圆,DUT板通过排线与探针卡连接,探针卡通过探针与待测晶圆连接,探针卡包括熔丝修调阵列;其中,测试机根据待测晶圆的修调要求将对应的测试资源引出至DUT板上,DUT板将对应的测试资源引出至探针卡上,使得熔丝修调阵列能够根据对应的测试资源对待测晶圆内的多颗芯片同时进行修调测试。本发明提供的集成电路熔丝修调阵列测试装置,能够减小PCB板的设计难度,提高了工作效率,降低了公司的运营成本。
本发明授权一种集成电路熔丝修调阵列测试装置及测试方法在权利要求书中公布了:1.一种集成电路熔丝修调阵列测试装置,其特征在于,所述集成电路熔丝修调阵列测试装置包括测试机和探针台,所述测试机上设置有DUT板,所述探针台上设置有探针卡和待测晶圆,所述DUT板通过排线与所述探针卡连接,所述探针卡通过探针与所述待测晶圆连接,所述探针卡包括熔丝修调阵列; 其中,所述测试机根据所述待测晶圆的修调要求将对应的测试资源引出至所述DUT板上,所述DUT板将所述对应的测试资源引出至所述探针卡上,使得所述熔丝修调阵列能够根据所述对应的测试资源对所述待测晶圆内的多颗芯片同时进行修调测试; 其中,所述熔丝修调阵列包括继电器和多个第一开关ksite1-ksiten,每个所述第一开关通过多个第二开关k1-kn与所述待测晶圆内的一颗芯片连接,所述测试机控制所述继电器,使得所述继电器能够控制多个所述第一开关选择所述待测晶圆内的一颗芯片进行修调测试或者多颗芯片同时进行修调测试; 其中,每个所述第一开关分别连接多个第二开关k1-kn,每个所述第二开关分别连接一段熔丝,每个所述第一开关所连接的多段熔丝通过探针连接到一颗芯片的熔丝pad上,在所述熔丝修调阵列对所述待测晶圆内的每颗芯片进行修调测试时,所述继电器控制每个所述第一开关所连接的多个第二开关k1-kn,以选择烧断该第一开关所连接的一段熔丝或者多段熔丝,进而实现对该第一开关所连接芯片的修调测试。
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