中国航发北京航空材料研究院许振华获国家专利权
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龙图腾网获悉中国航发北京航空材料研究院申请的专利一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118773578B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410856173.7,技术领域涉及:C23C16/448;该发明授权一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法是由许振华;王鑫;甄真;牟仁德;何利民设计研发完成,并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法在说明书摘要公布了:本发明是一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法,该方法采用Dy和Hf金属颗粒及相关工艺气体为原料,运用化学气相沉积技术,通过控制化学气相沉积设备的真空室加热温度、真空度、工艺气体类型和流量、沉积时间等因素,在镍基高温合金表面首先共沉积制备出Dy22O33和HfO22混合氧化物,然后再高温原位合成出具有萤石结构的Dy22Hf22O77陶瓷涂层。该陶瓷涂层具有高温相结构稳定、低热导、抗烧结、耐熔盐腐蚀和抗应变容限能力优异,适合于1300℃以上的高温焰流服役工况下使用,能改善航空发动机涡轮叶片热障涂层的隔热功效。
本发明授权一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的方法,其特征在于:该方法采用化学气相沉积工艺,以Dy和Hf金属颗粒及工艺气体为原料,在镍基高温合金表面首先共沉积制备出Dy2O3和HfO2混合氧化物,然后再高温原位合成出具有萤石结构的Dy2Hf2O7陶瓷涂层,该方法的工艺参数包括: A、固体材料为:Dy金属颗粒和Hf金属颗粒,金属颗粒纯度均大于98%,两种金属颗粒的尺寸均为Φ5mm×3mm; B、工艺气体为:H2气体、Ar气体、HCl气体和CO2气体,纯度均大于99.99%; C、以Dy和Hf金属颗粒为原料,在镍基高温合金表面共沉积Dy2O3和HfO2混合氧化物时,H2气体流量52Lmin~68Lmin、HCl气体流量6.6Lmin~8.2Lmin、CO2气体流量38Lmin~52Lmin、真空室的加热温度1180℃~1260℃、真空室的真空度30mbar~60mbar、沉积时间240min~300min; D、以Dy和Hf金属颗粒为原料,高温原位合成Dy2Hf2O7陶瓷涂层时,H2气体流量42Lmin~56Lmin、Ar气体流量18Lmin~26Lmin、真空室的加热温度1340℃~1480℃、真空室的真空度620mbar~740mbar、沉积时间120min~180min。
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