智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请的专利用于调焦调平的双远心投影物镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119596525B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411961849.5,技术领域涉及:G02B13/00;该发明授权用于调焦调平的双远心投影物镜是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调焦调平的双远心投影物镜在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于调焦调平的双远心投影物镜,应用半导体设备制造技术领域,其中,该双远心投影物镜包括沿光轴方向依次设置的物面、前透镜组、孔径光阑、后透镜组以及像面,且所述前透镜组和所述后透镜组沿所述孔径光阑对称设置,以使该双远心投影物镜为采用折射式和对称式的物、像方双远心结构。本申请的双远心投影物镜,采用折射式的结构,与反射式结构相比,有利于降低检测和装调难度,降低成本,而且采用对称式的双远心结构,具有结构简单,成本低,成像性能好的优势。
本发明授权用于调焦调平的双远心投影物镜在权利要求书中公布了:1.一种用于调焦调平的双远心投影物镜,其特征在于,该双远心投影物镜包括沿光轴方向依次设置的物面、前透镜组、孔径光阑、后透镜组以及像面,且所述前透镜组和所述后透镜组沿所述孔径光阑对称设置,以使该双远心投影物镜为采用折射式和对称式的物、像方双远心结构; 所述前透镜组包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜以及第六透镜;其中,第一透镜为凸凹负透镜、第二透镜为双凸正透镜,第三透镜为凸凹正透镜,第四透镜为双凸正透镜,第五透镜为双凹负透镜,第六透镜为凹凸负透镜; 相应的,所述后透镜组包括第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜以及第十二透镜;其中,第七透镜为凸凹负透镜、第八透镜为双凹负透镜、第九透镜为双凸正透镜、第十透镜为凹凸正透镜、第十一透镜为双凸正透镜,第十二透镜为凹凸负透镜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司,其通讯地址为:201316 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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