东京毅力科创株式会社富冈武敏获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119731777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480003749.3，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权静电吸盘是由富冈武敏设计研发完成，并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘在说明书摘要公布了：提供一种能够提高静电吸盘所保持的基片的温度均匀性的技术，静电吸盘包括：载置基片的电介质部件；和配置在电介质部件内的静电电极，电介质部件包括：具有供气体流出的气体流出部的第一上表面；和配置在第一上表面的外侧，具有比第一上表面高的高度的环状的密封带，密封带包括：外周部；和具有比外周部低的高度的内周部，静电电极至少配置在密封带的内周部的正下方。
本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种保持基片的静电吸盘，其包括： 载置基片的电介质部件；和 配置在所述电介质部件内的静电电极， 所述电介质部件包括： 第一上表面，其具有供气体流出的气体流出部；和 环状的密封带，其配置在所述第一上表面的外侧，具有比所述第一上表面高的高度， 所述密封带包括： 外周部；和 具有比所述外周部低的高度的内周部， 所述静电电极至少配置在所述密封带的所述内周部的正下方， 所述电介质部件还具有配置在所述第一上表面且相对于所述第一上表面突出到上方的多个凸部， 所述密封带的所述内周部所具有的内侧端部位于比处在最外侧的所述凸部所具有的外侧端部与所述密封带的所述外周部所具有的内侧端部的径向的中间点靠内侧的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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