宁波盈创科技成果转化服务合伙企业(有限合伙)林宇获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波盈创科技成果转化服务合伙企业(有限合伙)申请的专利含TaC/Ta2C梯度涂层的石墨件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119735451B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411703774.0,技术领域涉及:C04B41/87;该发明授权含TaC/Ta2C梯度涂层的石墨件及其制备方法是由林宇;陈爱盛;肖绍铸;何少龙设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本含TaC/Ta2C梯度涂层的石墨件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,具体为含TaCTa22C梯度涂层的石墨制件及其制备方法,至少包括以下步骤:提供浆料悬浮液1、浆料悬浮液2、悬浮液浆料3,将所述浆料悬浮液1涂敷至石墨件表面,固化形成第一预涂层;将所述浆料悬浮液2涂敷至所述第一预涂层表面,干燥形成第二预涂层,并固化得到预制件,对所述预制件烧结,形成双层Ta22C缓冲层;将所述悬浮液浆料3涂敷至所述双层Ta22C缓冲层的表面,固化形成第三预涂层,对所述第三预涂层烧结,形成TaCTa22C梯度涂层,保证涂层和石墨的高结合力,石墨和TaC涂层之间的热膨胀系数逐层接近,提高了材料的耐用性和可靠性。
本发明授权含TaC/Ta2C梯度涂层的石墨件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种含TaCTa2C梯度涂层的石墨件的制备方法,其特征在于,至少包括以下步骤: 提供含有钽源、分散剂、粘合剂的浆料悬浮液1,将所述浆料悬浮液1涂敷至石墨件表面,固化形成第一预涂层; 提供含有碳化钽、烧结剂、分散剂、粘合剂的浆料悬浮液2,将所述浆料悬浮液2涂敷至所述第一预涂层表面,干燥形成第二预涂层,并固化得到预制件,对所述预制件烧结,形成双层Ta2C缓冲层;所述预制件烧结具体为:将所述预制件放入烧结炉中,在1600℃-1800℃,0.1Pa-10Pa的真空环境下,保温10min-30min; 提供含有钽源、碳源、分散剂、粘合剂的悬浮液浆料3,将所述悬浮液浆料3涂敷至所述双层Ta2C缓冲层的表面,固化形成第三预涂层,对所述第三预涂层进行高温烧结,所述高温烧结的温度为2100℃-2300℃,时间0.5h-1h,形成TaCTa2C梯度涂层; 所述浆料悬浮液2中所述碳化钽和所述烧结剂的质量比为20-50:1-5; 所述TaCTa2C梯度涂层自上之下包括:TaC层、小晶粒多孔Ta2C表层、大晶粒致密Ta2C底层。
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