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龙图腾网获悉芯禾科技(江苏)有限公司申请的专利一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120762255B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511277750.8，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置是由严彬;朱燕娟;刘烽设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置，本发明涉及喷射装置技术领域，该喷涂装置包括箱体、总控模块、加热模块、搬运机械臂、涂显机构、旋转机构和夹持卡盘，箱体上设有柜门和转孔，涂显机构包括三轴位移模块和清理机构，清理机构包括底座，旋转机构包括底柱和驱动电机，柜门设有两组，总控模块、加热模块、搬运机械臂、三轴位移模块、底座、驱动电机均与箱体固定连接，夹持卡盘与搬运机械臂固定连接，底柱与转孔转动连接，加热模块、搬运机械臂、涂显机构、驱动电机均与总控模块通过电信号连接；本发明自动涂胶显影晶圆，显影液毫秒级内覆盖，避免线宽偏差和大液滴冲击晶圆破坏图形，避免显影斑点和彗星尾缺陷，提升晶圆制造精度。

本发明授权一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置在权利要求书中公布了：1.一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置包括箱体1、总控模块2、加热模块3、搬运机械臂4、涂显机构5、旋转机构6和夹持卡盘7，所述箱体1上设有柜门11和转孔12，所述涂显机构5包括三轴位移模块51和清理机构54，所述清理机构54包括底座541，所述旋转机构6包括底柱62和驱动电机63，所述柜门11设有两组，所述总控模块2、加热模块3、搬运机械臂4、三轴位移模块51、底座541、驱动电机63均与箱体1固定连接，所述夹持卡盘7与搬运机械臂4固定连接，所述底柱62与转孔12转动连接，所述加热模块3、搬运机械臂4、涂显机构5、驱动电机63均与总控模块2通过电信号连接； 所述涂显机构5还包括滴胶喷嘴52和喷淋机构53，所述喷淋机构53包括外壳55和导流机构58，所述外壳55上设有顶孔551，所述导流机构58包括喷头杆581，所述滴胶喷嘴52与三轴位移模块51固定连接，所述喷头杆581与三轴位移模块51、顶孔551均固定连接； 所述喷淋机构53还包括喷淋孔盘56、红外探头57和回流机构59，所述外壳55上还设有侧孔552，所述导流机构58还包括铰接架582和扇叶板584，所述回流机构59包括环管591和液管592，所述喷淋孔盘56、红外探头57、铰接架582均与外壳55固定连接，所述液管592与侧孔552固定连接，所述环管591与扇叶板584接触； 所述导流机构58还包括伺服电机583和万向连杆585，所述伺服电机583、扇叶板584、万向连杆585均设有若干组，若干组所述伺服电机583、扇叶板584、万向连杆585均沿外壳55环形阵列均布，所述扇叶板584上设有铰接扣5841和内弧槽5842，所述内弧槽5842设于扇叶板584远离顶孔551一侧，所述内弧槽5842沿扇叶板584板面呈树状排布，所述铰接扣5841与铰接架582转动连接，所述伺服电机583与铰接架582固定连接，所述铰接扣5841与万向连杆585、伺服电机583输出端均固定连接，所述三轴位移模块51、滴胶喷嘴52、伺服电机583、红外探头57均与总控模块2通过电信号连接； 所述旋转机构6还包括吸附盘61和齿轮杆64，所述吸附盘61上设有吸附孔611，所述吸附孔611设于吸附盘61圆心位置，所述底柱62上设有环齿槽621，所述齿轮杆64与驱动电机63输出端固定连接，所述齿轮杆64与环齿槽621齿面啮合。

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