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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120847445B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511350027.8，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法是由吴贵阳设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法。本发明的晶圆测试针座包括基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件以及探针。第一驱动件用于驱动第一丝杆转动，以使连接件以及第二丝杆相对第一丝杆升降，从而使得滑动座以及探针升降。第二驱动件用于驱动第二丝杆转动，以使第二丝杆相对连接件升降，从而使得滑动座以及探针升降。晶圆测试针座有两根丝杆都能够实现探针的微动，且一根丝杆微动并不会对另一个丝杆产生磨损，当第一丝杆或者第二丝杆磨损之后，可以使用另一个丝杆继续驱动探针微动，有效提升丝杆传动机构的整体使用寿命。

本发明授权晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法在权利要求书中公布了：1.晶圆测试针座，其特征在于，包括：基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件以及探针； 所述第一驱动件固定设置于所述基座； 所述滑动座沿竖直方向滑动连接于所述基座，所述探针、所述第二驱动件固定设置于所述滑动座，所述第二丝杆与所述第二驱动件连接； 所述第一丝杆与所述第二丝杆沿所述第一丝杆的径向间隔分布并且均与所述连接件螺纹连接； 所述第一驱动件用于驱动所述第一丝杆转动，以使所述连接件以及所述第二丝杆相对所述第一丝杆升降，从而使得所述滑动座以及所述探针升降； 所述第二驱动件用于驱动所述第二丝杆转动，以使所述第二丝杆相对所述连接件升降，从而使得所述滑动座以及所述探针升降； 所述第一丝杆沿轴向具有多段第一微动段，所述第二丝杆沿轴向具有多段第二微动段，所述探针的运动轨迹上具有微动区间； 所述连接件能够相对第一丝杆升降至与任意所述第一微动段螺纹连接且沿竖直方向微动，从而使所述探针在所述微动区间内升降，并且，所述第二丝杆能够相对所述连接件升降以使任意所述第二微动段与所述连接件螺纹连接且沿竖直方向微动，从而使所述探针在所述微动区间内升降。

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