西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)王鹏程获国家专利权
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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511348748.5，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统是由王鹏程;崔海龙;曹国斌;司志宁;王瑞鹏;田芳;王成君设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统，包括载舟晶圆上组件、载舟晶圆中组件、载舟晶圆下组件、以及不锈钢载板；所述载舟晶圆上组件由两组较长传送带组成，所述传送带的一端安装有第一带轮驱动电机，所述第一带轮驱动电机的侧面穿过有旋转轴，所述旋转轴的两端安装有皮带齿轮，所述第一带轮驱动电机转动带动所述旋转轴旋转，并驱动两组所述皮带齿轮转动。有益效果在于：本发明总体通过解决高精度定位、晶圆损伤、传输效率、多尺寸兼容性等问题，传输轨道系统能够更好地满足晶圆扇出封装的需求。从而进一步推动晶圆扇出封装技术的进步。
本发明授权一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统在权利要求书中公布了：1.一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统，其特征在于：包括载舟晶圆上组件、载舟晶圆中组件、载舟晶圆下组件、以及不锈钢载板； 所述载舟晶圆上组件由两组较长传送带组成，所述传送带的一端安装有第一带轮驱动电机，所述第一带轮驱动电机的侧面穿过有旋转轴，所述旋转轴的两端安装有皮带齿轮，所述第一带轮驱动电机转动带动所述旋转轴旋转，并驱动两组所述皮带齿轮转动； 所述载舟晶圆下组件采用载舟晶圆上组件变轨传送形式和气缸挡停部件组成，所述气缸挡停部件安装在所述载舟晶圆下组件的一侧，且靠近所述不锈钢载板； 所述晶圆上组件、所述载舟晶圆中组件和所述载舟晶圆下组件的底端安装有晶圆传送底板，所述晶圆上组件、所述载舟晶圆中组件和所述载舟晶圆下组件全部固定在所述晶圆传送底板上，所述晶圆传送底板表面安装有四角调平旋钮和折弯钢片。
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