真一(上海)集成电路设备有限公司尹小平获国家专利权
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龙图腾网获悉真一(上海)集成电路设备有限公司申请的专利一种小型螺旋喷头装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223800273U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423246880.9，技术领域涉及：B01D47/06；该实用新型一种小型螺旋喷头装置是由尹小平;张俊刚;王晨旭;李小青设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小型螺旋喷头装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种小型螺旋喷头装置，在真空泵的排气管上设置筒状管部，筒状管部中间设有与筒状管部内部相分隔的套筒腔室，套筒腔室内设有连通至筒状管部内的轴向喷管，轴向喷管环绕筒状管部外壁均匀间隔设有若干个，套筒腔室一侧连接设有充气管，外部气源导入套筒腔室，使套筒腔室内压力大于筒状管部内压力，外部气源经轴向喷管喷射进入筒状管部内。使加热后的N2通过此设备设计的一圈的细小螺旋孔喷射到管路内部，最大程度的抑制管路内部粉尘的产生，降低真空泵到洗涤塔之间的管路堵塞现象。同时喷射的N2带动了管内气体通过的流速，降低真空泵排气管出口端的压力，缓解真空泵的抽速，减少设备和管路的维护，提高生产率。
本实用新型一种小型螺旋喷头装置在权利要求书中公布了：1.一种小型螺旋喷头装置，包括真空泵，其特征在于，在真空泵的排气管上设置筒状管部1，所述筒状管部1中间设有与筒状管部1内部相分隔的套筒腔室2，所述套筒腔室2呈圆环状套设在筒状管部1外围，所述套筒腔室2内设有连通至筒状管部1内的轴向喷管3，所述轴向喷管3环绕筒状管部1外壁均匀间隔设有若干个，所述套筒腔室2一侧连接设有充气管4，所述充气管4与外部气源相连接，所述外部气源导入套筒腔室2，使套筒腔室2内压力大于筒状管部1内压力，外部气源经轴向喷管3喷射进入筒状管部1内。
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