杰莱特(苏州)精密仪器有限公司高永喜获国家专利权
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龙图腾网获悉杰莱特(苏州)精密仪器有限公司申请的专利一种射频偏压清洗结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223801113U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423302522.5，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型一种射频偏压清洗结构是由高永喜;武启飞;赵鹏鹏;王泽;卢人杰;王泽钊设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频偏压清洗结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，提供了一种射频偏压清洗结构，包括真空腔室，所述真空腔室内壁顶面设有上电极板，所述真空腔室的表面设有带动上电极板升降的驱动组件，所述上电极板底面可拆卸设有基板；所述真空腔室内壁底面设有下电极板，所述下电极板从上到下的方向上依次包括匀气上盘、匀气下盘和绝缘板，所述匀气下盘内设有气体分流盘，且所述匀气上盘上设有多个匀气孔；所述真空腔室底面设有为下电极板供电的射频电源引入装置。本实用新型提供的射频偏压清洗结构不仅可以做到工艺气体均匀流入，从而实现基板均匀清洗的效果；通过调节上下电极之间的距离，找到最佳清洗位置；整套设备集成度高，使设备更加紧凑,减少了设备占用的空间。
本实用新型一种射频偏压清洗结构在权利要求书中公布了：1.一种射频偏压清洗结构，包括真空腔室3，其特征在于：所述真空腔室3内壁顶面设有上电极板4，所述真空腔室3的表面设有带动上电极板4升降的驱动组件，所述上电极板4底面可拆卸设有待清洗的基板5； 所述真空腔室3内壁底面设有下电极板6，所述下电极板6从上到下的方向上依次包括匀气上盘10、匀气下盘14和绝缘板12，所述匀气下盘14内设有气体分流盘11，且所述匀气上盘10上设有多个匀气孔； 所述真空腔室3底面设有为下电极板6供电的射频电源引入装置8，且所述真空腔室3底面设有工艺气体引入管7。
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