浙江吉进科技有限公司徐晓杰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江吉进科技有限公司申请的专利一种边缘研磨机的晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223802341U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031973.5，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种边缘研磨机的晶圆清洗装置是由徐晓杰设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种边缘研磨机的晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种边缘研磨机的晶圆清洗装置，包括机架，机架上在竖直方向上对称设有第一顶杆与第二顶杆，第一顶杆转动安装于机架上并通过第一电机驱动转动，第二顶杆位于下方并通过第一气缸驱动在机架上竖直移动，第一顶杆与第二顶杆的一侧设有两根水平的清洗辊，两根清洗辊一上一下设置，清洗辊转动安装于安装板上并通过第二电机驱动转动，两个安装板通过同步驱动机构安装在支架上进行同步的相向或相反移动，支架通过水平移动机构安装于机架上朝向第一顶杆与第二顶杆的方向移动，机架上还设有喷淋管，清洗辊转动对转动中的晶圆片进行初步清洗，除去晶圆片表面的颗粒物，从而能够降低后续清洗的负担。
本实用新型一种边缘研磨机的晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种边缘研磨机的晶圆清洗装置，其特征在于，包括机架1，所述机架1上在竖直方向上对称设有第一顶杆2与第二顶杆3，所述第一顶杆2转动安装于机架1上并通过第一电机4驱动转动，所述第二顶杆3位于下方，第二顶杆3的下端连接有转动的传动杆，所述传动杆通过第一气缸5驱动在机架1上竖直移动，所述第一顶杆2与第二顶杆3的一侧设有两根水平的清洗辊6，两根清洗辊6一上一下设置，所述清洗辊6转动安装于安装板7上并通过第二电机8驱动转动，两个安装板7通过同步驱动机构安装在支架9上进行同步的相向或相反移动，所述支架9通过水平移动机构安装于机架1上朝向第一顶杆2与第二顶杆3的方向移动，所述机架1上还设有喷淋管10。
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