西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司白皓获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请的专利一种清理装置及双面研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223802342U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520496901.8,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种清理装置及双面研磨设备是由白皓;张伟设计研发完成,并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清理装置及双面研磨设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种清理装置及双面研磨设备,所述清理装置包括:刮刀,所述刮刀用于插入到双面研磨设备的定盘的研磨表面的沟槽中并且沿着所述沟槽移动;喷嘴,所述喷嘴在所述刮刀的移动方向上设置在所述刮刀的下游并且设置成随所述刮刀同步移动,所述喷嘴用于将清洗液喷射到所述沟槽中。清理装置通过刮刀和喷嘴的协同自动化操作,高效清除定盘沟槽内的污染物,降低成本,提升安全性和生产效率,同时保障晶圆研磨质量。
本实用新型一种清理装置及双面研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种清理装置,其特征在于,所述清理装置包括: 刮刀,所述刮刀用于插入到双面研磨设备的定盘的研磨表面的沟槽中并且沿着所述沟槽移动; 喷嘴,所述喷嘴在所述刮刀的移动方向上设置在所述刮刀的下游并且设置成随所述刮刀同步移动,所述喷嘴用于将清洗液喷射到所述沟槽中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司,其通讯地址为:710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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