成都高真科技有限公司康大沃获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利研磨垫修整装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223802366U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520433059.3,技术领域涉及:B24B53/017;该实用新型研磨垫修整装置是由康大沃设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨垫修整装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体机械制造技术领域,具体涉及一种研磨垫修整装置。该研磨垫修整装置包括修整器,修整器包括修整器本体和多个修整凸起,修整器本体朝向研磨垫的表面为修整面,修整面设置有第一修整层,每个修整凸起的表面设置有第二修整层,第一修整层用于修整研磨面,多个第二修整层和沟槽一一对应。在进行研磨垫的修整工作时,第一修整层对研磨面进行修整,第二修整层对沟槽进行修整,能够同时有效去除研磨面上和沟槽内的异物,起到良好的修整效果。
本实用新型研磨垫修整装置在权利要求书中公布了:1.一种研磨垫修整装置,所述研磨垫100包括研磨面和多个环形沟槽110,所述沟槽110位于所述研磨面上且多个所述沟槽110同心分布,其特征在于,所述研磨垫修整装置包括: 修整器200,所述修整器200包括修整器本体210和多个修整凸起220,所述修整器本体210朝向所述研磨垫100的表面为修整面,所述修整面设置有第一修整层211,每个所述修整凸起220的表面设置有第二修整层221,所述第一修整层211用于修整所述研磨面,多个所述第二修整层221和所述沟槽110一一对应。
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