湖北方圆科学仪器股份有限公司张威获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北方圆科学仪器股份有限公司申请的专利一种真空镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223805138U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520236545.6，技术领域涉及：C23C14/26；该实用新型一种真空镀膜装置是由张威;贾伟强;郭绪智;鲁誉设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种真空镀膜装置，包括真空腔，真空腔内安装有电极环、钨丝漏斗和样品托盘，电极环在真空腔内上下同轴固定有两个，两个电极环之间留有间隙并分别与电源的两极电连接；钨丝漏斗沿电极环的内圆周均匀布置有两个以上，钨丝漏斗均为由钨丝缠绕形成的漏斗状结构，且钨丝漏斗上均设置有两个接线端，钨丝漏斗的两个接线端分别与两个电极环电连接；样品托盘位于电极环的中轴线上并与电极环无接触，待镀膜产品放置于样品托盘上时，钨丝漏斗刚好均匀分布在待镀膜产品的周边。该装置通过布置于两个电极环上的多个钨丝漏斗实现多个蒸发源的环向布置，确保待镀膜产品在多个蒸发源的围绕下进行均匀镀膜。
本实用新型一种真空镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜装置，至少包括真空腔，其特征在于：所述真空腔内安装有： 电极环，其在真空腔内上下同轴固定有两个，两个电极环之间留有间隙并分别与电源的两极电连接； 钨丝漏斗，其沿电极环的内圆周均匀布置有两个以上，钨丝漏斗均为由钨丝缠绕形成的漏斗状结构，且钨丝漏斗上均设置有两个接线端，钨丝漏斗的两个接线端分别与两个电极环电连接； 样品托盘，其位于电极环的中轴线上并与电极环无接触，待镀膜产品放置于样品托盘上时，钨丝漏斗刚好均匀分布在待镀膜产品的周边。
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