浙江润海新能源有限公司张超获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江润海新能源有限公司申请的专利一种PVD旋转靶保养治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223805140U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520267436.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种PVD旋转靶保养治具是由张超;连维飞;张尧;倪志春设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD旋转靶保养治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PVD旋转靶保养治具，包括与PVD旋转靶连接的冷却水进水接头和冷却水排水接头，冷却水进水接头通过一进气球阀与一气接头连接，冷却水排水接头上连接一冷却水排水球阀。本实用新型可通过控制冷却水排水球阀的流量大小有效控制排水压力及水流大小，从而有效控制泄压压力及排水压力。本实用新型可在PVD旋转靶内外构建流通气路，可向PVD旋转靶内导入压缩气体吹扫靶筒内残余水分，加速靶筒内部水分排出，从而节省保养时间，提高保养效率。本实用新型集成了PVD旋转靶泄压排水和保压检测的器具，使得同一治具可完成PVD旋转靶保养的不同保养项目，利于治具的规整，提高空间利用率以及收纳、携带的便利性。
本实用新型一种PVD旋转靶保养治具在权利要求书中公布了：1.一种PVD旋转靶保养治具，其特征是，包括与PVD旋转靶连接的冷却水进水接头3和冷却水排水接头10，冷却水进水接头3通过一进气球阀4与一气接头1连接，冷却水排水接头10上连接一冷却水排水球阀8。
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