安徽华远装备科技有限公司张亦瞳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华远装备科技有限公司申请的专利一种分区可控PECVD Showerhead结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223805146U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520306632.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种分区可控PECVD Showerhead结构是由张亦瞳;杨娜设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分区可控PECVD Showerhead结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体涉及一种分区可控PECVDShowerhead结构，包括由上部的气槽板、下部的喷淋板以及四周挡板组成的盒状空腔结构，所述盒状空腔结构的内部沿水平方向设置有多个呈回形状态的隔板，每个所述隔板分别将所述盒状空腔结构的内部分割为一个区域，所述气槽板远离喷淋板的一侧连通有多个进气管路，每个所述进气管路分别与一个所述区域连通设置，每个所述区域内均设置有匀气板，所述匀气板上均设有相互交错的气孔，本实用新型能够增强气体在盒状空腔结构内部的扩散、提高空腔内气体浓度的均匀性，不同区域内气体浓度可根据沉积的薄膜厚度设置成相同或不同，最终达到沉积的薄膜厚度均匀的目的。
本实用新型一种分区可控PECVD Showerhead结构在权利要求书中公布了：1.一种分区可控PECVDShowerhead结构，包括由上部的气槽板1、下部的喷淋板2以及四周挡板3组成的盒状空腔结构，其特征在于，所述盒状空腔结构的内部沿水平方向设置有多个呈回形状态的隔板4，每个所述隔板4分别将所述盒状空腔结构的内部分割为一个区域，所述气槽板1远离喷淋板2的一侧连通有多个进气管路5，每个所述进气管路5分别与一个所述区域连通设置，每个所述区域内均设置有匀气板6，所述匀气板6上均设有相互交错的气孔。
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