江苏韦达半导体有限公司张兴杰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏韦达半导体有限公司申请的专利一种半导体加工用磨边装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223811907U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520402756.2,技术领域涉及:B24B9/06;该实用新型一种半导体加工用磨边装置是由张兴杰;程万坡;王荣元;钦彪设计研发完成,并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用磨边装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体是一种半导体加工用磨边装置,包括底座,所述底座的顶部固定有立柱一,所述立柱一的顶端固定有托盘,所述底座的外侧固定有匚形板,所述匚形板的顶部固定有电动推杆一,所述电动推杆一的输出端固定有压盘,所述底座的顶部固定有支撑环。本实用新型中,通过电动推杆二输出端驱使多个磨边机构上的磨边轮贴靠晶圆,电机二驱使磨边轮转动进行磨边,同时电机一驱使圆形载板带着多个磨边机构上的磨边轮围绕着立柱一圆周转动,磨边轮能够在晶圆外侧移动到不同位置进行磨边,达到给晶圆快速全方位磨边的效果,通过在磨边轮的外侧贴靠有吸尘盒,实现边磨边边清洁磨边轮,防止磨边轮上的碎屑损伤晶圆。
本实用新型一种半导体加工用磨边装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用磨边装置,其特征在于,包括: 底座100,底座100的顶部固定有立柱一110,立柱一110的顶端固定有托盘111,底座100的外侧固定有匚形板120; 电动推杆一200,固定在匚形板120顶部,电动推杆一200的输出端固定有压盘210; 支撑环300,固定在底座100顶部,支撑环300的内部转动有圆形载板310; 多个磨边机构400,呈环形等角度滑动卡接在圆形载板310顶部,磨边机构400包括立柱二410,立柱二410的顶部固定有匚形座420,匚形座420的内侧转动有磨边轮430,磨边轮430的外侧滑动贴靠有吸尘盒440; 多个电动推杆二500,均与固定在圆形载板310顶部,电动推杆二500能够驱使对应位置立柱二410移动位置。
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