一塔半导体(安徽)有限公司王涛获国家专利权
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龙图腾网获悉一塔半导体(安徽)有限公司申请的专利一种外延设备的载片盘及外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223813568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423315387.8，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种外延设备的载片盘及外延设备是由王涛;郭军强;夏杨建设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延设备的载片盘及外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种外延设备的载片盘及外延设备，所述载片盘的顶部从内向外依次包括载片平台、托环卡槽、周壁，所述托环卡槽夹设在所述载片平台、周壁之间，所述载片平台的高度高于所述周壁的高度，所述载片盘的底部包括至少3条弧形导气槽，所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称。本申请载片盘的顶部设有载片平台、托环卡槽、周壁，在载片平台、周壁之间设有托环卡槽可以方便的将卡环固定在托环卡槽里，安装方便，同时载片盘的底部布设有至少3条弧形导气槽，所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称，有效增强了载片盘旋转能力，载片盘的适应性能也得到了提高。
本实用新型一种外延设备的载片盘及外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备的载片盘，其特征在于：所述载片盘的顶部从内向外依次包括载片平台、托环卡槽、周壁，所述托环卡槽夹设在所述载片平台、周壁之间，所述载片平台的高度高于所述周壁的高度，所述载片盘的底部包括至少3条弧形导气槽，所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人一塔半导体(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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