福建省金石能源股份有限公司吴添明获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省金石能源股份有限公司申请的专利一种可调节特气分流的PECVD腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223815741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423238364.1，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种可调节特气分流的PECVD腔体是由吴添明;黄文智;单洪青;朱晓军设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调节特气分流的PECVD腔体在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏设备领域，公开了一种可调节特气分流的PECVD腔体，其包括相互连接的上模腔和下模腔。上模腔内从上到下依次设置有电极柱、一体式分流器、调节组件、布气板。电极柱设置于上模腔的上端上，电极柱上设置有气体通道，布气板位于气体通道下方，布气板与上模腔的内壁形成一个匀气腔体。一体式分流器通过调节组件可上下调节高度地设置于布气板与气体通道之间，且一体式分流器位于气体通道的正下方。本实用新型在气体通道和布气板之间设置可调高度的一体式分流器，不仅能够使得腔室工作区域内的气流更均匀，而且能够在不拆除布气板结构的情况下，进行分流器高度调整来调整特气分流走向，具有方便可调、可控的作用。
本实用新型一种可调节特气分流的PECVD腔体在权利要求书中公布了：1.一种可调节特气分流的PECVD腔体，其特征在于：包括相互连接的上模腔和下模腔；所述上模腔内从上到下依次设置有电极柱、一体式分流器、调节组件、布气板；电极柱设置于上模腔的上端上，电极柱上设置有气体通道，布气板位于气体通道下方，布气板与上模腔的内壁形成一个匀气腔体；所述一体式分流器通过调节组件可上下调节高度地设置于布气板与气体通道之间，且一体式分流器位于气体通道的正下方。
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