眉山博雅新材料股份有限公司顾鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉眉山博雅新材料股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223816388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520203955.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆清洗装置是由顾鹏;胡小波;赵浩东设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆清洗装置，包括：清洗槽、盖体、晶圆安装区和加热器；清洗槽包括底壁和侧壁，晶圆安装区设置在底壁内侧，加热器设置在所述侧壁内侧，盖体盖设于清洗槽的上方，盖体上设置有排气孔。该装置解决了晶圆静态清洗中浓硫酸热量分布不均和加热困难的问题，同时降低了静态实验设备成本。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽、盖体、晶圆安装区和加热器； 所述清洗槽包括底壁和侧壁，所述晶圆安装区设置在所述底壁内侧，所述加热器设置在所述侧壁内侧，所述盖体盖设于所述清洗槽的上方，所述盖体上设置有排气孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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