武汉新芯集成电路股份有限公司陈昱成获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉新芯集成电路股份有限公司申请的专利校准结构及半导体制程装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223816400U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422628630.5，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型校准结构及半导体制程装置是由陈昱成;孙柏友;罗琪设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本校准结构及半导体制程装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种校准结构及半导体制程装置，所述校准结构用于对运载晶圆的机械手进行校准，所述机械手用于将晶圆运送并放置至半导体制程装置中的加工平台，所述校准结构包括：底座，可固定在所述加工平台上；固持件，设置在所述底座的一侧并远离所述底座，所述固持件的中心与所述底座的中心位于同一垂线上，且所述固持件与所述底座相对水平，其中，所述固持件用于固持所述机械手的运载平台以使所述运载平台和所述加工平台对准并相对水平，从而校准调整所述运载平台与所述机械手的机械臂之间的位置并固定。所述校准结构可以提高晶圆传送位置的准确性，进而提高晶圆的制成品质，同时缩短设备校准时间，提高工厂的工作效率。
本实用新型校准结构及半导体制程装置在权利要求书中公布了：1.一种校准结构，其特征在于，用于对运载晶圆的机械手进行校准，所述机械手用于将晶圆运送并放置至半导体制程装置中的加工平台，所述校准结构包括： 底座，可固定在所述加工平台上； 固持件，设置在所述底座的一侧并远离所述底座，所述固持件的中心与所述底座的中心位于同一垂线上，且所述固持件与所述底座相对水平，其中，所述固持件用于固持所述机械手的运载平台以使所述运载平台和所述加工平台对准并相对水平，从而校准调整所述运载平台与所述机械手的机械臂之间的位置并固定。
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