天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利压电层带凹陷结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111010100B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910157916.0,技术领域涉及:H03H3/02;该发明授权压电层带凹陷结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备是由庞慰;张孟伦;杨清瑞设计研发完成,并于2019-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电层带凹陷结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,设置在基底上方;顶电极;和压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,其中:所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域;所述压电层设置有凹陷结构,所述凹陷结构具有内缘与外缘,且在垂直投影中,所述凹陷结构的内缘与所述顶电极的边缘重合或者在所述顶电极的边缘的外侧。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器,以及具有上述谐振器或者滤波器的电子设备。
本发明授权压电层带凹陷结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括: 基底; 声学镜; 底电极,设置在基底上方; 顶电极,具有电极连接部;和 压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间, 其中: 所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域; 所述压电层设置有凹陷结构,所述凹陷结构具有内缘与外缘,且在垂直投影中,所述凹陷结构的内缘与所述顶电极的边缘重合或者在所述顶电极的边缘的外侧; 所述凹陷结构包括至少两个凹陷,至少部分所述凹陷在径向方向上相连通或间隔布置,所述至少两个凹陷位于所述顶电极的同一侧,以增加所述顶电极的所述同一侧的声阻不匹配边界的数量。
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