株式会社荏原制作所柏木诚获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板保持装置及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112103237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010546521.2，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板保持装置及基板处理装置是由柏木诚设计研发完成，并于2020-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持装置及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板保持装置及基板处理装置，该基板保持装置使晶片等基板进行圆运动，并且能够一边使基板以其轴心为中心旋转，一边稳定地保持该基板。基板保持装置10具备：多个辊11a、11b；使多个辊11a、11b旋转的多个电动机29a、29b；围绕中心轴线CP排列的多个偏心轴13a、13b；多个致动器18。多个偏心轴13a、13b由多个可动轴13b和多个基准轴13a构成，多个致动器18分别与多个可动轴13b连结，多个致动器18构成为，使多个可动轴13b向接近多个基准轴13a的方向以及从多个基准轴13a远离的方向移动。
本发明授权基板保持装置及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板保持装置，一边使基板进行圆运动，一边使所述基板以该基板的轴心为中心旋转，其特征在于，具备： 多个辊，该多个辊能够与所述基板的周缘部接触； 多个电动机，该多个电动机使所述多个辊旋转； 多个偏心轴，该多个偏心轴围绕预先确定的中心轴线排列； 多个致动器，该多个致动器分别具有多个活塞；以及 多个可动台，该多个可动台分别与所述多个活塞连接， 所述多个偏心轴具有多个第一轴部和多个第二轴部，该多个第二轴部分别从所述多个第一轴部偏心， 所述多个辊分别固定于所述多个第二轴部，所述多个第一轴部分别与所述多个电动机连结， 所述多个偏心轴由多个可动轴及多个基准轴构成， 所述多个可动台具有多个轴承和多个连结部件，该多个轴承将所述多个可动轴支承为能够旋转，该多个连结部件固定于所述多个活塞， 所述多个致动器分别经由所述多个可动台与所述多个可动轴连结， 所述多个致动器构成为，使所述多个可动轴和所述多个可动台一体地向接近所述多个基准轴的方向以及从所述多个基准轴远离的方向移动。
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