东京毅力科创株式会社吉村拓斗获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利处理方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113178373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110067867.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权处理方法及等离子体处理装置是由吉村拓斗设计研发完成，并于2021-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：提供一种在维持等离子体密度的同时施加射频功率的脉冲波的处理方法及等离子体处理装置。该处理方法使用具有第一电极和第二电极的等离子体处理装置，该处理方法包括：将第一射频功率的脉冲波施加到所述第一电极或所述第二电极中的任意一者的工序；以及以与所述第一射频功率之间的给定的相位差，将频率低于所述第一射频功率的第二射频功率的脉冲波施加到所述第一电极的工序，其中，以使所述第二射频功率的接通时间与所述第一射频功率的接通时间不重叠的方式，对所述第二射频功率的不同的第一接通时间和第二接通时间进行控制，在即将接通所述第一射频功率之前，将所述第一接通时间控制为关断。
本发明授权处理方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种使用具有第一电极和第二电极的等离子体处理装置的处理方法，包括： 将第一射频功率的脉冲波施加到所述第一电极或所述第二电极中的任意一者的工序；以及 以与所述第一射频功率之间的给定的相位差，将第二射频功率的脉冲波施加到所述第一电极的工序，所述第二射频功率的频率低于所述第一射频功率的频率， 其中，以使所述第二射频功率的脉冲波的接通时间与所述第一射频功率的脉冲波的接通时间不重叠的方式，对所述第二射频功率的脉冲波的不同的第一接通时间和第二接通时间进行控制， 在即将接通所述第一射频功率的脉冲波之前，将所述第一接通时间控制为关断。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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