朗姆研究公司经常友获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于估计温度的静电卡盘加热器电阻测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574648B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080020835.7，技术领域涉及：H10P95/90；该发明授权用于估计温度的静电卡盘加热器电阻测量是由经常友;亚历山大·米赫宁科;克里斯托弗·金博尔设计研发完成，并于2020-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于估计温度的静电卡盘加热器电阻测量在说明书摘要公布了：一种控制器，其包含电压传感器，该电压传感器耦合至整合在静电卡盘中的加热器迹线，该电压传感器被配置成感测在该加热器迹线两端的电压差，其中该加热器迹线与加热器区域相关联。该控制器包含电流传感器，其耦合至该加热器迹线，并且被配置成感测该加热器迹线中的电流。该控制器包含电阻识别器，其被配置成基于该电压差和感测到的该电流来识别该加热器迹线的电阻。该控制器包含温度关联器，其被配置成基于该电阻以及该加热器迹线的相关函数来估计该加热器区域的温度。该相关函数使用该加热器迹线的电阻的温度系数。
本发明授权用于估计温度的静电卡盘加热器电阻测量在权利要求书中公布了：1.一种控制器，其包含： 电压传感器，其耦合至整合在静电卡盘中的加热器迹线，所述电压传感器被配置成感测在所述加热器迹线两端的电压差，其中所述加热器迹线与加热器区域相关联； 电流传感器，其耦合至所述加热器迹线，并且被配置成感测所述加热器迹线中的电流； 电阻识别器，其被配置成基于所述电压差和感测到的所述电流来识别所述加热器迹线的电阻； 温度关联器，其被配置成基于所述电阻以及所述加热器迹线的相关函数来估计所述加热器区域的温度；以及 功率控制器，其被配置成基于所估计出的所述温度与所述加热器区域相关联的期望温度之间的比较结果来调节供应至所述加热器迹线的功率， 其中所述相关函数使用所述加热器迹线的电阻的温度系数， 其中所述控制器位于等离子体处理室的RF热环境内，以及 其中所述控制器被用于提供对供应至所述加热器迹线的所述功率的原位调节。
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