诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权
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龙图腾网获悉诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利带叠层凸起结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114079430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010807070.3,技术领域涉及:H03H3/02;该发明授权带叠层凸起结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备是由庞慰;班圣光;徐洋;张孟伦设计研发完成,并于2020-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本带叠层凸起结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括:基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,其中:顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重合区域构成谐振器的有效区域;顶电极和或底电极沿有效区域设置有凸起结构,所述凸起结构包括第一凸起层与第二凸起层,第一凸起层邻近压电层布置,第二凸起层的外端在谐振器的厚度方向上远离压电层且与第一凸起层叠置,第一凸起层和第二凸起层彼此叠置的部分以构成叠置部;所述凸起结构在所述叠置部的内侧设置有单层部,所述单层部设置在对应电极与压电层之间;且所述单层部的厚度与所述叠置部的厚度的比值不大于0.62。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。
本发明授权带叠层凸起结构的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括: 基底; 声学镜; 底电极; 顶电极;和 压电层, 其中: 顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重合区域构成谐振器的有效区域; 顶电极和或底电极沿有效区域设置有凸起结构,所述凸起结构包括第一凸起层与第二凸起层,第一凸起层邻近压电层布置,第二凸起层的外端在谐振器的厚度方向上远离压电层且与第一凸起层叠置,第一凸起层和第二凸起层彼此叠置的部分以构成叠置部; 所述凸起结构在所述叠置部的内侧设置有单层部,所述单层部设置在对应电极与压电层之间;且 所述单层部的厚度与所述叠置部的厚度的比值不大于0.62,以提升并联谐振阻抗。
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