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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695211B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011589962.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板处理系统是由彭博;陈兴隆设计研发完成，并于2020-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基板处理系统，包括装载单元、过渡单元、工艺单元、至少一个第一传送单元、至少一个第一位置检测单元、至少一个第二传送单元以及至少一个第二位置检测单元。所述基板处理系统中，包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而保证了同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，也保证了同一所述第二传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，从而能够保证同时在所述装载单元和过渡单元之间，以及所述过渡单元和所述工艺单元之间同时搬运多个基板，提高了基板的处理效率。

本发明授权基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，其特征在于，包括： 装载单元，用于装载基板； 过渡单元，用于临时存放基板和或对基板进行预处理工艺； 工艺单元，用于对基板进行加工工艺； 至少一个第一传送单元，设置于所述装载单元和所述过渡单元之间，且所述第一传送单元包括至少两个机械臂，用于在所述装载单元和所述过渡单元之间取放基板； 至少一个第一位置检测单元，固定于所述第一传送单元上，用于检测所述第一传送单元中机械臂的位置，以使同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动； 至少一个第二传送单元，设置于所述过渡单元和所述工艺单元之间，且所述第二传送单元包括至少两个机械臂，用于在所述过渡单元和所述工艺单元之间取放基板；以及， 至少一个第二位置检测单元，固定于所述第二传送单元上，用于检测所述第二传送单元中机械臂的位置，以使同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动； 所述第一位置检测单元和所述第二位置检测单元均为影像检测单元、超声波检测单元和光检测单元中的一种； 所述影像检测单元通过采集机械臂所夹持基板的影像信息中的至少两个点或圆心位置，以通过所述至少两个点的位置或所述圆心位置计算机械臂的位置； 所述光检测单元包括光发射单元和光接收单元，所述光发射单元向所述光接收单元发射光柱穿过相对应机械臂所加持基板表面所在的平面。

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